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    Titel :

    High-performance capacitive humidity sensor with novel electrode and polyimide layer based on MEMS technology


    Beteiligte:
    Kim, J. H. (Autor:in) / Hong, S. M. (Autor:in) / Moon, B. M. (Autor:in) / Kim, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 16 , 12 ; 2017-2021


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2010


    Format / Umfang :

    5 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Capacitive Humidity Sensors Using Highly Durable Polyimide Membrane

    Niimi, Naohisa / Yoshida, Takahiko / Isogai, Toshiki | SAE Technical Papers | 2013


    Capacitive Humidity Sensors Using Highly Durable Polyimide Membrane

    Niimi, N. / Yoshida, T. / Isogai, T. et al. | British Library Conference Proceedings | 2013


    Capacitive humidity sensors using highly durable polyimide membrane

    Niimi,N. / Yoshida,T. / Isogai,T. et al. | Kraftfahrwesen | 2013


    A novel high sensitive MEMS intraocular capacitive pressure sensor

    Ganji, B. A. / Shahiri-Tabarestani, M. | British Library Online Contents | 2013


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    Ananthi, S. / Lamba, Monica / Chaudhary, Himanshu et al. | Springer Verlag | 2022