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    Titel :

    Design and fabrication of an electrostatically suspended microgyroscope using UV-LIGA technology


    Beteiligte:
    Cui, F. (Autor:in) / Chen, W. (Autor:in) / Zhang, W. (Autor:in) / Xiao, Q. (Autor:in) / Ma, G. (Autor:in) / Liu, W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 15 , 12 ; 1885-1896


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2009


    Format / Umfang :

    12 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83