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    Titel :

    Resonant frequency sensitive MEMS bandpass filter using capacitive sensing scheme


    Beteiligte:
    Song, I. H. (Autor:in) / Peter, Y. A. (Autor:in) / Meunier, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 15 , 7 ; 973-979


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2009


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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