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    Titel :

    Silicon on nothing MEMS electromechanical resonator


    Beteiligte:
    Durand, C. d. (Autor:in) / Casset, F. (Autor:in) / Ancey, P. (Autor:in) / Judong, F. (Autor:in) / Talbot, A. (Autor:in) / Quenouillère, R. m. (Autor:in) / Renaud, D. (Autor:in) / Borel, S. p. (Autor:in) / Florin, B. (Autor:in) / Buchaillot, L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 7 ; 1027-1033


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Optimization of an Electromechanical Helmholtz Resonator

    Liu, Fei / Horowitz, Stephen / Cattafesta, Lou et al. | AIAA | 2006


    Electromechanical model of RF MEMS switches

    Zhang, L. X. / Zhao, Y.-P. | British Library Online Contents | 2003


    Characterization of a Tunable Electromechanical Helmholtz Resonator

    Liu, Fei / Horowitz, Stephen / Wang, Guiqin et al. | AIAA | 2003


    Controlling Micro ElectroMechanical Systems (MEMS) in Space

    Farrar, D. / Schneider, W. / Osiander, R. et al. | British Library Conference Proceedings | 2003


    Potential Micro-Electromechanical (MEMS) Applications in Civil Engineering

    Oppenheim, I. J. / Garrett, J. H. / Gabriel, K. J. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000