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    Titel :

    Etching behaviour of sputter-deposited aluminium nitride thin films in H3PO4 and KOH solutions


    Beteiligte:
    Ababneh, A. (Autor:in) / Kreher, H. (Autor:in) / Schmid, U. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 14 , 4-5 ; 567-573


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2008


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83