Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Identification and Simulation of Template Spatial Position in Nanoimprint Lithography Process


    Beteiligte:
    Weitao, J. (Autor:in) / Yucheng, D. (Autor:in) / Bingheng, L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2007


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Unbekannt


    Klassifikation :

    DDC:    500



    Template Fabrication on Soft Ultravialet Nanoimprint Lithography

    Qin, G. / Ding, Y. / Liu, H. | British Library Online Contents | 2008


    Nanoimprint lithography fabricates subwavelength optics

    Wang, J. / Kostal, H. | British Library Online Contents | 2005


    Recent progress in low temperature nanoimprint lithography

    Sun, H. | British Library Online Contents | 2015



    Application of nanoimprint lithography in nanoscale GaAs MSM photodetectors

    Schablitsky, S.J. / Zhaoning Yu, / Chou, S.Y. | IEEE | 1999