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    Titel :

    Process conditions in X-ray lithography for the fabrication of devices with sub-micron feature sizes


    Beteiligte:
    Mappes, T. (Autor:in) / Achenbach, S. (Autor:in) / Mohr, J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 13 , 3-4 ; 355-360


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2007


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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