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    Titel :

    Design and UV-LIGA microfabrication of an electro-statically actuated power relay


    Beteiligte:
    Jeong, S. J. (Autor:in) / Wang, W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 13 , 3-4 ; 279-286


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2007


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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