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    Titel :

    Low voltage actuated RF micromechanical switches fabricated using CMOS-MEMS technique


    Beteiligte:
    Dai, C. L. (Autor:in) / Chen, J. H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 12 , 12 ; 1143-1151


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2006


    Format / Umfang :

    9 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    A silicon based MEMS technology for electrostatically actuated SPDT RF switches

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