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    Titel :

    Deep X-ray lithography using mask with integrated electrothermal actuator


    Beteiligte:
    Lee, K.-C. (Autor:in) / Lee, S. S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 11 , 4/5 ; 358-364


    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    7 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83




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