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    Titel :

    193-nm coatings resist excimer-laser damage


    Beteiligte:
    Case, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    LASER FOCUS WORLD ; 40 ; 93-98


    Erscheinungsdatum :

    2004-01-01


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    621.366



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