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    Titel :

    Study on three-dimensional micromachining using synchrotron radiation etching


    Beteiligte:
    Nishi, N. (Autor:in) / Katoh, T. (Autor:in) / Ueno, H. (Autor:in) / Sugiyama, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2002


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    High aspect ratio micromachining by synchrotron radiation direct photo-etching

    Katoh, T. / Zhang, Y. | British Library Online Contents | 1998


    Vertical Three-Dimensional Micro-Fresnel Lenses Fabricated by Micromachining Technique

    Lin, L. Y. / Lee, S. S. / Pister, K. S. J. et al. | British Library Conference Proceedings | 1994




    Optical radiation pressure micromachining using a small particle [4088-62]

    Shimizu, H. / Miyoshi, T. / Kiyono, S. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000