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    Titel :

    Recent developments in dimensional metrology for microsystem components


    Beteiligte:
    Cao, S. (Autor:in) / Brand, U. (Autor:in) / Kleine-Besten, T. (Autor:in) / Hoffmann, W. (Autor:in) / Schwenke, H. (Autor:in) / Butefisch, S. (Autor:in) / Buttgenbach, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2002


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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