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    Titel :

    Photoresist application for the LIGA process


    Beteiligte:
    Chaudhuri, B. (Autor:in) / Guckel, H. (Autor:in) / Klein, J. (Autor:in) / Fischer, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 4 , 4 ; 159-162


    Erscheinungsdatum :

    1998-01-01


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



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