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    Titel :

    Excimer laser deep microstructuring for LIGA process [3550-44]


    Beteiligte:
    Sheri, B. (Autor:in) / Wang, R. (Autor:in) / Lu, D. (Autor:in) / Huang, H. (Autor:in) / Deng, S.-S. / Wang, S. C. / SPIE

    Kongress:

    Conference; 2nd, Laser processing of materials and industrial applications ; 1998 ; Beijing



    Erscheinungsdatum :

    01.01.1998


    Format / Umfang :

    7 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Excimer laser sputtering deposition of skutterudites for thermoelectric applications [3550-56]

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