Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    LIGA-Technology for the fabrication of positioned planar structures


    Beteiligte:
    Schift, H. (Autor:in) / Soechtig, J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 4 , 3 ; 132-134


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1998


    Format / Umfang :

    3 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Micro-optical structures realized by LIGA technology

    Gerner, M. / Schift, H. / Bauer, H.D. et al. | IEEE | 1994


    Fabrication of LIGA mold inserts

    Bacher, W. / Bade, K. / Matthis, B. et al. | British Library Online Contents | 1998


    LIGA fabrication of X-ray Nickel lenses

    Nazmov, V. / Reznikova, E. / Snigirev, A. et al. | British Library Online Contents | 2005


    Silicon IC compatible LIGA mask-fabrication process

    Suzuki, K. / Sugiyama, S. | British Library Online Contents | 1997


    Ensuring repeatability in LIGA mold insert fabrication

    Schulz, J. / Bade, K. / Guttmann, M. et al. | British Library Online Contents | 2004