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    Titel :

    Multi-Level Polysilicon Surface-Micromachining Technology: Applications and Issues




    Erscheinungsdatum :

    1996-01-01


    Format / Umfang :

    10 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.1



    Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications

    Lee,K.W. / Walker,B.E. / Allied Automotive,US et al. | Kraftfahrwesen | 1986


    Silicon Micromachining Technology for Automotive Applications

    Walker, B. E. / Lee, K. W. | SAE Technical Papers | 1986




    Sensors for Restraint Systems in Surface Micromachining Technology

    Ziemssen, K. | British Library Conference Proceedings | 2000