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    Titel :

    Halogen Free Dry Etching of InGaN/AlGaN Optoelectronic Device Structures



    Kongress:

    18th:; ANNUAL MEETING, Lasers and Electro-Optics Society; IEEE LEOS ; 2005 ; Sydney, Australia



    Erscheinungsdatum :

    01.01.2005


    Format / Umfang :

    2 pages


    Anmerkungen:

    IEEE cat no: 05CH37693




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Schlagwörter :


    Halogen free dry etching of InGaN/AlGaN optoelectronic device structures

    Sale, T.E. / Ahmed, S. / Lancefield, D. | IEEE | 2005


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    IEEE; Lasers and Electro-Optics Society | British Library Conference Proceedings | 1996



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