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    Titel :

    AIAA-2004-6741 Mechanical Reliability Evaluation and its Standardization of Thin Films Used in MEMS


    Beteiligte:
    Tsuchiya, T. (Autor:in)

    Kongress:

    Conference, Micro-nano-technologies for aerospace applications; A collection of the CANEUS 2004 ; 2004 ; Monterey, Calif



    Erscheinungsdatum :

    01.01.2004


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch






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