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    Titel :

    Mini Excimer Laser for Industrial Applications



    Kongress:

    1st, International WLT-conference on lasers in manufacturing; Lasers in Manufacturing 2001 ; 2001 ; Munich, Germany



    Erscheinungsdatum :

    2001-01-01


    Format / Umfang :

    4 pages


    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Industrial Microprocessing Applications Of Excimer Lasers

    Sercel, J. / Sowada, U. / Kahlert, H J. et al. | SPIE | 1988


    1-kW industrial excimer laser (308-nm)

    Timmermans, John C. | SPIE | 1998


    Results of a long-term test of an ArF mini-excimer laser

    Goertler, Andreas / Hartmann, C. / Strowitzki, C. | SPIE | 2003


    Optical Materials for Excimer Laser Applications

    Rothschild, M. | British Library Online Contents | 1993


    Excimer laser projector for microelectronics applications

    Rumsby, Phil T. / Gower, Malcolm C. | SPIE | 1991