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    Titel :

    Optimizing an EUV source for 13.5 nm [5196-31]


    Beteiligte:
    O Sullivan, G. D. (Autor:in) / Cummings, A. (Autor:in) / Duffy, G. (Autor:in) / Dunne, P. A. (Autor:in) / Fitzpatrick, A. (Autor:in) / Hayden, P. (Autor:in) / McKinney, L. (Autor:in) / Murphy, N. (Autor:in) / O Reilly, D. (Autor:in) / Sokell, E. J. (Autor:in)

    Kongress:

    Conference, Laser-generated and other laboratory X-ray and EUV sources, optics and applications; Laser-generated and other laboratory X-ray and EUV sources, optics and applications



    Erscheinungsdatum :

    2004-01-01


    Format / Umfang :

    9 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    X-pinch source size measurements [5196-04]

    Pikuz, S. A. / Song, B. M. / Shelkovenko, T. A. et al. | British Library Conference Proceedings | 2004


    Liquid-metal-jet anode x-ray source [5196-50]

    Hemberg, O. E. / Otendal, M. / Hertz, H. M. et al. | British Library Conference Proceedings | 2004


    High-power laser-produced plasma source for nanolithography [5196-10]

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    Monochromatic applications of polycapillary optics [5196-47]

    MacDonald, C. A. / Mail, N. / Li, D. et al. | British Library Conference Proceedings | 2004


    Liquid-metal anode x-ray tube [5196-51]

    David, B. R. / Barschdorf, H. / Doormann, V. et al. | British Library Conference Proceedings | 2004