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    Titel :

    Variable angle spectroscopic ellipsometry in the vacuum ultraviolet (Invited Paper) [4099-24]


    Beteiligte:
    Woollam, J. A. (Autor:in) / Hilfiker, J. N. (Autor:in) / Tiwald, T. E. (Autor:in) / Bungay, C. L. (Autor:in) / Synowicki, R. A. (Autor:in) / Meyer, D. E. (Autor:in) / Herzinger, C. M. (Autor:in) / Pfeiffer, G. L. (Autor:in) / Cooney, G. T. (Autor:in) / Green, S. E. (Autor:in)

    Kongress:

    Conference, Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries ; 2000 ; San Diego, CA



    Erscheinungsdatum :

    2000-01-01


    Format / Umfang :

    9 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Ellipsometry: a sophisticated tool for optical metrology (Invited Paper) [4099-23]

    Azzam, R. M. A. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 2000


    Standardization in optics characterization (Invited Paper) [4099-14]

    Ristau, D. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 2000


    Fast-scanning ellipsometry for thin film characterization [4099-39]

    Berge, C. / Krasilnikova, A. / Masetti, E. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    Lithography: a look at what is ahead (Invited Paper) [4099-01]

    Levinson, H. J. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 2000


    Nr. 4099

    DataCite | 1924