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    Titel :

    Calibration tool for a CCD-camera-based vision system [4099-19]


    Beteiligte:
    Xu, G. (Autor:in) / Tan, S. L. (Autor:in) / Low, S. P. (Autor:in) / Heng, Y. S. (Autor:in) / Lai, W. C. (Autor:in) / Du, X. (Autor:in) / Al-Jumaily, G. A. / SPIE

    Kongress:

    Conference, Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries ; 2000 ; San Diego, CA



    Erscheinungsdatum :

    2000-01-01


    Format / Umfang :

    12 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Nr. 4099

    DataCite | 1924


    Calibration requirements for identifying and sizing wafer defects by scanner measurements [4099-38]

    Stover, J. C. / Scheer, C. A. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 2000


    Standardization in optics characterization (Invited Paper) [4099-14]

    Ristau, D. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 2000


    Ellipsometry: a sophisticated tool for optical metrology (Invited Paper) [4099-23]

    Azzam, R. M. A. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 2000


    Fast-scanning ellipsometry for thin film characterization [4099-39]

    Berge, C. / Krasilnikova, A. / Masetti, E. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000