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    Titel :

    Extreme Ultraviolet Sources Based on Gas Jets



    Kongress:

    Annual meeting; 10th, IEEE; Lasers and Electro-Optics Society: LEOS '97 ; 1997 ; San Francisco; CA



    Erscheinungsdatum :

    01.01.1997


    Format / Umfang :

    2 pages


    Anmerkungen:

    Described as proceedings. IEEE cat no: 97CH36057




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Extreme ultraviolet sources based on gas jets

    Kubiak, G.D. / Bernardez, K. | IEEE | 1997


    EXTREME-UV SOURCES Coherent light sources reach the extreme-ultraviolet

    Hecht, J. | British Library Online Contents | 2006


    Extreme ultraviolet lithography with laser plasma sources

    Kubiak, G.D. / Tichenor, D.A. / Stulen, R.H. | IEEE | 1995


    Compact X-ray and Extreme-Ultraviolet Light Sources

    Assoufid, Lahsen / Arp, Uwe / Naulleau, Patrick et al. | British Library Online Contents | 2015


    Extreme Ultraviolet Lithography

    Stulen, R. H. / Sweeney, D. W. | British Library Online Contents | 1999