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    Titel :

    Extreme ultraviolet lithography with laser plasma sources


    Beteiligte:
    Kubiak, G.D. (Autor:in) / Tichenor, D.A. (Autor:in) / Stulen, R.H. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1995


    Format / Umfang :

    188478 byte




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Elektronische Ressource


    Sprache :

    Englisch



    Extreme Ultraviolet Lithography

    Stulen, R. H. / Sweeney, D. W. | British Library Online Contents | 1999


    Extreme ultraviolet lithography

    Bokor, J. / Optical Society of America | British Library Conference Proceedings | 1997



    Laser-generated water plasma source for extreme-ultraviolet lithography and at-wavelength interferometry [4146-11]

    Constantinescu, R. C. / Jonkers, J. / Hegeman, P. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    EXTREME-UV SOURCES Coherent light sources reach the extreme-ultraviolet

    Hecht, J. | British Library Online Contents | 2006