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    Titel :

    Silicon Bulk Micromachining in Tohoku University



    Kongress:

    Symposium, Micro-electro-mechanical systems (MEMS): Proceedings of the ASME Aerospace Division ; 1996 ; Atlanta; GA



    Erscheinungsdatum :

    01.01.1996


    Format / Umfang :

    8 pages


    Anmerkungen:

    Held as part of the 1996



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Silicon Bulk Micromachining in Tohoku University

    Minami, K. / Esashi, M. | British Library Online Contents | 1996


    Fibre-optical MEMS switches based on bulk silicon micromachining

    Hoffmann, M. / Kopka, P. / Nusse, D. et al. | British Library Online Contents | 2003


    Tohoku University low-turbulence wind tunnel

    KOHAMA, Y. / KOBAYASHI, R. / ITO, H. | AIAA | 1992


    Micromachining Of Silicon

    Dickman, John E. | NTRS | 1988


    Silicon mirror arrays fabricated by using bulk and surface micromachining [3008-34]

    Gessner, T. / Doetzel, W. / Billep, D. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997