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    Titel :

    Investigation of the resolution limit of the hydrogen plasma-induced defect layer intermixing process


    Beteiligte:
    Saher Helmy, A. (Autor:in) / Ooi, B. S. (Autor:in) / Marsh, J. H. (Autor:in)

    Kongress:

    Topical meeting, Integrated photonics research ; 1996 ; Boston; MA



    Erscheinungsdatum :

    1996-01-01


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch