Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Application of a diffractive lens element to a lithographic projection lens [2577-24]


    Beteiligte:
    Ohashi, H. (Autor:in) / Kuba, K. (Autor:in) / Okamura, T. (Autor:in) / Ishii, T. (Autor:in) / Honda, T. / SPIE

    Kongress:

    International conference, Applications of optical holography ; 1995 ; Tokyo



    Erscheinungsdatum :

    1995-01-01


    Format / Umfang :

    8 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Nr. 2577

    DataCite | 1894


    Hybrid achromatic objective lens for optical data storage (Invited Paper) [2577-23]

    Maruyama, K. / Iwaki, M. / Wakamiya, S. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995


    Efficiency considerations for diffractive optical elements (Invited Paper) [2577-22]

    Kathman, A. D. / Hochmuth, D. H. / Brown, D. R. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995


    Diffractive optical elements for making CO~2 laser material processing [2577-30]

    Chen, Y. / Li, D. / Cui, X. et al. | British Library Conference Proceedings | 1995


    Self-balancing hoisting device used in lithographic projection lens

    SUN ZHEN / ZHAO LEI / NI MINGYANG et al. | Europäisches Patentamt | 2016

    Freier Zugriff