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    Titel :

    500-watt industrial excimer laser at high repetition rate [2206-05]


    Beteiligte:
    Lacour, B. (Autor:in) / Brunet, H. (Autor:in) / Besaucele, H. (Autor:in) / Gagnol, C. (Autor:in) / Bohrer, M. / SPIE

    Kongress:

    Conference, High power gas and solid state lasers ; 1994 ; Vienna



    Erscheinungsdatum :

    1994-01-01


    Format / Umfang :

    5 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    5 kHz high repetition rate excimer laser

    Takagi, S. / Kakizaki, K. / Okamoto, N. et al. | IEEE | 1995


    High-power operation of the CHIRP II excimer laser (Invited Paper) [2206-01]

    Osborne, M. R. / Fieret, J. / Heath, R. et al. | British Library Conference Proceedings | 1994


    2.5 kHz high-repetition-rate XeCl excimer laser

    Ishikawa, Ken / Takagi, S. / Okamoto, Naomichi et al. | SPIE | 1991


    Excimer-Raman radiation source for lidar measurements [2206-39]

    Vartapetov, S. K. / Veselovskii, I. A. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 1994


    High repetition rate KrF excimer laser for microphotolithography

    Kakuno, T. / Enami, T. / Kakizaki, K. | IEEE | 1995