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    Programm: ForMaT - Forschung für den Markt im Team : nanostrukturierte Siliziumgrenzflächen - NanoSIS ; Laufzeit des Vorhabens: 01.03.2011 - 28.02.2013

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    Friedrich-Schiller-Universität Jena, Institut für Angewandte Physik | TIBKAT | 2013