Drei Faktoren wirken sich auf die Gestaltung von Fertigungssystemen und die Prozeßtechnologie in der Fertigung von IC's aus: die Vergrößerung der Chipfläche, die verkleinerung der Bauelementegeometrie und die Erhöhung des Umfangs der Basissubstrate. Das Resultat für die immer höhere Komplexität der Fertigung sind erhöhte Kosten. Am Beispiel eines Gasverteilungssystems wird im Artikel die Notwendigkeit für die komplexe Integration von Fertigungssystemen und -ausrüstungen erläutert. Die richtige Konzipeirung solcher Gasverteilungssysteme und deren Integration in das Fertigungssystem haben einen wesentlichen Einfluß auf den Fertigungsprozeß und den Durchsatz sowie die erzielte Ausbeute. Ein integriertes Gasverteilungssystem ermöglicht eine genaue, wiederhohlbare und verunreinigungsfreie Versorgung im Prozeß. Die Grundlagen zur modularen Gestaltung und die Vorteile solcher Gasversorgungssysteme werden im Artikel beschrieben.


    Access

    Access via TIB

    Check availability in my library

    Order at Subito €


    Export, share and cite



    Title :

    The next step in process gas delivery: A fully integrated system


    Additional title:

    Der nächste Schritt in der Prozeßgasversorgung: Ein vollständig integriertes System


    Contributors:
    Cestari, J. (author) / Laureta, D. (author) / Itafuji, H. (author)

    Published in:

    Publication date :

    1997


    Size :

    4 Seiten, 4 Bilder, 1 Tabelle



    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    English




    Fully faired landing gear with integrated step

    LOVELAND STEVEN / GRIFFITHS PAUL CHARLES / BRITTAIN ALLEN | European Patent Office | 2022

    Free access

    FULLY FAIRED LANDING GEAR WITH INTEGRATED STEP

    LOVELAND STEVEN / GRIFFITHS PAUL CHARLES / BRITTAIN ALLEN | European Patent Office | 2020

    Free access


    Integrated Platform Management System - The Next Step in Shipboard Controls

    Bagdasarian, A. / Allard, M. | British Library Conference Proceedings | 1993


    Computer-integrated product creation is the next step

    Brown, Peter W. | Online Contents | 2005