Drei Faktoren wirken sich auf die Gestaltung von Fertigungssystemen und die Prozeßtechnologie in der Fertigung von IC's aus: die Vergrößerung der Chipfläche, die verkleinerung der Bauelementegeometrie und die Erhöhung des Umfangs der Basissubstrate. Das Resultat für die immer höhere Komplexität der Fertigung sind erhöhte Kosten. Am Beispiel eines Gasverteilungssystems wird im Artikel die Notwendigkeit für die komplexe Integration von Fertigungssystemen und -ausrüstungen erläutert. Die richtige Konzipeirung solcher Gasverteilungssysteme und deren Integration in das Fertigungssystem haben einen wesentlichen Einfluß auf den Fertigungsprozeß und den Durchsatz sowie die erzielte Ausbeute. Ein integriertes Gasverteilungssystem ermöglicht eine genaue, wiederhohlbare und verunreinigungsfreie Versorgung im Prozeß. Die Grundlagen zur modularen Gestaltung und die Vorteile solcher Gasversorgungssysteme werden im Artikel beschrieben.
The next step in process gas delivery: A fully integrated system
Der nächste Schritt in der Prozeßgasversorgung: Ein vollständig integriertes System
Semiconductor International ; 20 , 1 ; 79-86
1997
4 Seiten, 4 Bilder, 1 Tabelle
Article (Journal)
English
Fully adaptive headlamp, the next step in intelligent lighting functionality
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