Fuer die chemischen Prozesse in der Halbleitertechnologie sind toxische, korrosive und brennbare Gase erforderlich. Hierfuer sind Gassicherheitsbehaelter, Gasverteilsysteme, Gassicherheits-Monitore sowie Gasfilter zur Reinigung erforderlich. Entsprechende Produkte der Firma Semco Engineering werden vorgestellt.


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    Title :

    Ohne Kompromisse. Qualitaet und Sicherheit bei der Handhabung von Gasen in der Halbleiterfertigung


    Published in:

    Publication date :

    1989


    Size :

    2 Seiten, 5 Bilder


    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    German





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