Fuer die chemischen Prozesse in der Halbleitertechnologie sind toxische, korrosive und brennbare Gase erforderlich. Hierfuer sind Gassicherheitsbehaelter, Gasverteilsysteme, Gassicherheits-Monitore sowie Gasfilter zur Reinigung erforderlich. Entsprechende Produkte der Firma Semco Engineering werden vorgestellt.
Ohne Kompromisse. Qualitaet und Sicherheit bei der Handhabung von Gasen in der Halbleiterfertigung
Productronic, Heidelberg ; 6 ; 62-64
1989
2 Seiten, 5 Bilder
Article (Journal)
German
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