Auf Grund der wachsenden Bedeutung von Gasverunreinigungen (besonders durch Feuchtigkeit) in der Halbleiterindustrie, der notwendigen Wahrung der Gasreinheit bei der Leitung durch ausgedehnte Gasverteilungssysteme und deren qualitative wie quantitative Erfahrung wurden von Liquid Air unter Einhaltung praxisnaher Bedingungen an einer Versuchsanlage bei Durchstroemung mit ultrareinem Stickstoff Untersuchungen durchgefuehrt. Beschrieben werden die Voraussetzungen fuer die Studie und die aus ihr gewonnenen Erkenntnisse unter Behandlung von: 1) Experimentelle Bedingungen (N2-Reinheit, Gasstrom, Edelstahlroehrensystem, Systemarchitektur, Materialvorbehandlung, Messparameter); 2) Messergebnisse der Experimente im ppb- und ppm-Bereich fuer Feuchtigkeits-, Sauerstoff- bzw. Wasserstoffkontamination des Stickstoffs (Einfluesse durch Systembehandlung, Roehren- und Filterersatz, Temperatur, Polymerroehren, Wasserstoffentwicklung aus Stahlwaenden); 3) Moegliche Reinsysteme.


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    Title :

    Moisture in high-purity gas systems


    Additional title:

    Feuchtigkeit in hochreinen Gassystemen


    Contributors:
    Boyd, H.E. (author)

    Published in:

    Publication date :

    1988


    Size :

    3 Seiten, 12 Bilder, 2 Tabellen, 6 Quellen


    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    English






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