Die Temperaturregelung von komprimierten Gasen in Zylindern zwischen dem Aufbewahrungsort und der Prozesslinie resultiert in einer erhoehten Gleichfoermigkeit der Aetzrate beim Aluminium-Plasmaaetzen und in einer neunundneunzigprozentigen Reduzierung der Kondensation korrosiver Gase in Rohrleitungen und Masseflussreglern. Davon betroffen sind hauptsaechlich Gase, deren Siedepunkt in der Naehe der Umgebungstemperatur liegt, wie Dichlorsilan und Bortrichlorid. An der Hand des Druck-Temperatur-Phasendiagramms und des Gesetzes ueber reale Gase werden die Zusammenhaenge verdeutlicht. Probleme entstehen meist dann, wenn fuer den Aufbewahrungsort der Gaszylinder keine gleichbleibenden Temperaturen gewaehrleistet und die Rohrleitungen nicht auf kuerzestem Weg zum Prozessort verlegt sind. Als Beispiele fuer die Notwendigkeit der Temperaturregelung fuehren die Autoren Diboran fuer die Borphosphorsilikatglasabscheidung, Bortrichlorid fuer das Plasmametallaetzen und Dichlorsilan fuer die Niederdruckgasphasenabscheidung an.
Control of gas delivery system temperatures for improved process control
Steuerung der Temperaturen des Gasanliefersystems zur verbesserten Prozessregelung
Microelectronic Manufacturing and Testing ; 10 , 5 ; 20-21
1987
2 Seiten
Article (Journal)
English
DELIVERY CONTROL SYSTEM, DELIVERY CONTROLLER, AND DELIVERY CONTROL METHOD
European Patent Office | 2024
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