Für viele OEM-Geräteanwendungen werden zunehmend innovative Sensortechnologien mit höchster Messempfindlichkeit, Genauigkeit und Langzeitstabilität gefordert. Die durchflussbasierten LDE/LBA-Differenzdrucksensoren von First Sensor basieren auf der Differenzdruckmessung mittels thermischer Massendurchflussmessung, nutzen jedoch eine völlig neuartige MEMS-Sensortechnologie, die den Strömungskanal im Sensor-Halbleiterchip integriert.
Differenzdrucksensoren. Messkanal im Chip
Elektronik Industrie ; 45 , 11 ; 40-41
2014
2 Seiten, Bilder
Article (Journal)
German
European Patent Office | 2020
|European Patent Office | 2021
|Chip, Chip, hurra: Speicherlosungen fur Industrieanwendungen
British Library Online Contents | 2012