Während in der Vergangenheit das Einsatzgebiet von Beschleunigungssensoren hauptsächlich auf Airbags im Kraftfahrzeug beschränkt war kann durch die Weiterentwicklung der MEMS-Technologie (Micro-Electro-Mechanical-System) ein weiteres Einsatzspektrum erschlossen werden. So bietet ST Microelectronics bereits seit dem Jahr 2003 Beschleunigungssensoren für den Low-g-Bereich an. Dazu verwendet ST Microelectronics den MEMS-Prozess ThELMA (Thick Epitaxial Polysilicon Layer for Micromotors and Accelerometers). Dieser Prozess erlaubt es, dreidimensionale mikromechanische Strukturen mit hoher Planarität und exakter Geometrie aufzubauen. Der LIS3LV02DQ ist ein Vertreter dreiachsiger Sensoren mit drei senkrecht aufeinander stehenden Messachsen für die X-, Y- und Z-Achse. Ein weiteres Merkmals des LIS3LV02DQ ist neben der niedrigen Stromaufnahme und dem geringen Rauschen die Wakeup-Funktion. Der Wakeup-Modus ermöglicht es, einen Ausgang des ICs zu setzen, sobald voreingestellte Schwellwerte bei der Beschleunigung über- bzw. unterschritten werden.
Kleine Größe - großer Nutzen. Dreiachsige "Low-g"-Beschleunigungssensoren
Design & Elektronik ; 2 ; 40-42
2005
3 Seiten, 3 Bilder
Article (Journal)
German
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