Für die Entwicklung langlebiger autonomer Sensor- und Messsysteme ist die Bereitstellung entsprechender Energiequellen von entscheidender Bedeutung. Eine Form der für bestimmte Einsatzzwecke in Frage kommenden Energiequelle ist der elektromechanische Energiewandler. Hier wurde ein Energiewandler auf Basis kapazitiver Kammstrukturen entworfen, der mechanische Schwingungen durch kapazitiv-induktive Prozesse in elektrische Energie umwandelt. Zur Überprüfung der Modellannahmen und vorbereitend durchgeführten Simulationsrechnungen wurden Mikrokammstrukturen sowie ein Makromodell des Wandlerprinzips mit Schaltungen zur Durchführung von Messungen hergestellt. Die Parameter zur Fertigung entsprechender resonanter Kammstrukturen wurden mittels eines Computerprogramms nach der Finite-Elemente-Methode (FE) ermittelt. Die erzielten experimentellen Ergebnisse führen zu der Schlussfolgerung, dass die untersuchte Energiewandlung mittels kapazitiver Schaltung zur Entwicklung autarker elektromechanischer Energiewandler geeignet sei.


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    Title :

    Elektromechanischer Energiewandler basierend auf SOI-Technologie


    Additional title:

    Electromechanical energytransducer based on SOI-technology



    Published in:

    tm - Technisches Messen ; 74 , 12 ; 636-641


    Publication date :

    2007-01-01


    Size :

    6 pages



    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    German




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