Drucksensoren werden in der Maschinen- und Prozessmesstechnik zur Ermittlung von Absolut-, Relativ- oder Differenzdrücken eingesetzt. Die zentralen Problemstellungen der Weiterentwicklung sind verfälschungsfreie Übermittlung der Messsignale unter verschiedenen Einsatzbedingungen und Schutz der Sensortechnik gegen aggressive Messmedien und Umwelteinflüsse. Piezoresistive Silizium-Druckmesselemente finden aufgrund ihrer niedrigen Fertigungskosten und hohen messtechnischen Stabilität wachsende Verbreitung. Auf dieser Basis wurde ein miniaturisierter mediengetrennter Drucktransmitter in den Ausführungen zur Relativ-, Absolut- und Differenzdruckmessung entwickelt. Aufbau, Wirkprinzip, Messverhalten und Messfehlerentwicklung sowie die Maßnahmen zur messtechnischen Stabilisierung gegenüber mechanischen, elektrostatischen und Temperaturstöreinflüssen sind erläutert und mit Auswertungen dokumentiert.
Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen
tm - Technisches Messen ; 72 , 11 ; 638-645
2005-01-01
8 pages
Article (Journal)
German
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