Drucksensoren werden in der Maschinen- und Prozessmesstechnik zur Ermittlung von Absolut-, Relativ- oder Differenzdrücken eingesetzt. Die zentralen Problemstellungen der Weiterentwicklung sind verfälschungsfreie Übermittlung der Messsignale unter verschiedenen Einsatzbedingungen und Schutz der Sensortechnik gegen aggressive Messmedien und Umwelteinflüsse. Piezoresistive Silizium-Druckmesselemente finden aufgrund ihrer niedrigen Fertigungskosten und hohen messtechnischen Stabilität wachsende Verbreitung. Auf dieser Basis wurde ein miniaturisierter mediengetrennter Drucktransmitter in den Ausführungen zur Relativ-, Absolut- und Differenzdruckmessung entwickelt. Aufbau, Wirkprinzip, Messverhalten und Messfehlerentwicklung sowie die Maßnahmen zur messtechnischen Stabilisierung gegenüber mechanischen, elektrostatischen und Temperaturstöreinflüssen sind erläutert und mit Auswertungen dokumentiert.


    Access

    Access via TIB

    Check availability in my library

    Order at Subito €


    Export, share and cite



    Title :

    Mikrogehäuste mediengetrennte Silizium-Druck- und Differenzdrucksensoren für industrielle Anwendungen



    Published in:

    tm - Technisches Messen ; 72 , 11 ; 638-645


    Publication date :

    2005-01-01


    Size :

    8 pages



    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    German