Die moderne Qualitätsprüfung technischer Oberflächen macht zunehmend ein berührungsloses und zerstörungsfreies Messverfahren erforderlich. Die Triangulation und die Weißlichtinterferometrie erfüllen die meisten Anforderungen bezüglich Messgenauigkeit. Zu Messung nicht-ruhender Objekte bietet aber die Zwei-Wellen-Speckle-Interferometrie bessere Ergebnisse, besonders wenn die Messgeschwindigkeit eine Rolle spielt. Es wird ein Messsystem vorgestellt, das die simultane Aufzeichnung aller für die interferometrische Formerfassung notwendigen Daten bei hoher Messgeschwindigkeit und Messrate ermöglicht und somit den Einfluss von Bewegungen weitgehend unterdrücken kann.
Methoden der interferometrischen Formerfassung nicht-ruhender technischer Oberflächen
tm - Technisches Messen ; 71 , 4 ; 211-217
2004-01-01
7 pages
Article (Journal)
German
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