Access

    Access via TIB

    Check availability in my library

    Order at Subito €


    Export, share and cite



    Title :

    Atomlagenabscheidung von Hafniumoxid


    Contributors:

    Edition :

    1. Aufl.


    Publication date :

    2010


    Size :

    VII, 150 S.


    Remarks:

    Ill., graph. Darst.
    Digital preservation by Gottfried Wilhelm Leibniz Bibliothek - Niedersächsische Landesbibliothek



    Type of media :

    Theses


    Type of material :

    Print


    Language :

    German



    Classification :

    RVK:    ZM 7680
    DDC:    621.38152
    BKL:    53.09 Werkstoffe der Elektrotechnik / 53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher



    Atomlagenabscheidung von Hafniumoxid

    Zilbauer, Thomas | TIBKAT | 2010