Ein oberflächenemittierender Laser mit vertikalem Resonator (VCSEL) umfasst einen inneren Lichterzeugungsbereich, eine äußere lichtemittierende Oberfläche und einen räumlichen Modulationsbereich, der monolithisch mit dem inneren Lichterzeugungsbereich integriert ist, so dass der räumliche Modulationsbereich zwischen dem inneren Lichterzeugungsbereich und der äußeren lichtemittierenden Oberfläche angeordnet ist. Der räumliche Modulationsbereich ist so konfiguriert, dass er das von dem inneren Lichterzeugungsbereich erzeugte Licht formt, bevor das erzeugte Licht von der äußeren Licht emittierenden Oberfläche emittiert wird. Die VCSEL-Vorrichtung kann so konfiguriert sein, dass sie einen Lichtstrahl entlang einer vorbestimmten Richtung aussendet, einen Lichtstrahl mit einer vorbestimmten Strahldivergenz aussendet und/oder einen Lichtstrahl mit einer vorbestimmten Form oder Struktur quer zu einer Ausbreitungsrichtung aussendet, so dass der Lichtstrahl einen vorbestimmten Lichtpunkt oder ein vorbestimmtes Lichtmuster bildet, wenn er auf eine Oberfläche projiziert wird. Eine Vielzahl von VCSEL-Vorrichtungen und ein Verfahren zur Herstellung einer VCSEL-Vorrichtung werden ebenfalls offenbart.Der Zusammenfassung ist bei der Veröffentlichung ABB. 1A beizufügen.
A vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) device comprises an interior light generating region, an exterior light emitting surface, and a spatial modulation region monolithically integrated with the interior light generating region so that the spatial modulation region is located between the interior light generating region and the exterior light emitting surface. The spatial modulation region is configured to shape the light generated by the interior light generating region before the generated light is emitted from the exterior light emitting surface. The VCSEL device may be configured to emit a beam of light along a predetermined direction, to emit a beam of light having a predetermined beam divergence, and/or to emit a beam of light having a predetermined shape or structure transverse to a direction of propagation so that the beam of light forms a predetermined spot or pattern of light when projected onto a surface. A plurality of VCSEL devices and a method for use in manufacturing a VCSEL device are also disclosed.
OBERFLÄCHENEMITTIERENDER LASER MIT VERTIKALEM RESONATOR
2022-03-31
Patent
Electronic Resource
German
IPC: | H01S Vorrichtungen, die stimulierte Emission verwenden , DEVICES USING STIMULATED EMISSION / B60Q ARRANGEMENT OF SIGNALLING OR LIGHTING DEVICES, THE MOUNTING OR SUPPORTING THEREOF OR CIRCUITS THEREFOR, FOR VEHICLES IN GENERAL , Anordnung von Signal- oder Beleuchtungsvorrichtungen, deren Einbau oder Halterung oder deren Schaltkreise bei Fahrzeugen allgemein / G01S RADIO DIRECTION-FINDING , Funkpeilung / G02B Optische Elemente, Systeme oder Geräte , OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS |
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