Synonyme wurden verwendet für: Ionenätzen reaktives Ionenätzen
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    Deep Reactive-Ion Etched Micro Valves for Spacecraft Propulsion

    Tang, W. / Chakraborty, I. / Pyle, D. | NTRS | 1998
    Schlagwörter: MEMS valve deep Reactive-Ion Etching Propulsion

    MEMS technology at NASA's Jet Propulsion Laboratory

    George, T. / Bae, Y. / Chakraborty, I. et al. | Tema Archiv | 2000
    Schlagwörter: reaktives Ionenätzen