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    Design and validation of a single-SOI-wafer 4-DOF crawling microgripper

    Freier Zugriff
    Verotti M. / Bagolini A. / Bellutti P. et al. | BASE | 2019
    Schlagwörter: Deep-reactive ion etching (DRIE)

    Deep Reactive-Ion Etched Micro Valves for Spacecraft Propulsion

    Tang, W. / Chakraborty, I. / Pyle, D. | NTRS | 1998
    Schlagwörter: MEMS valve deep Reactive-Ion Etching Propulsion

    Wafer scale integration enabling space science

    Wesolek, D.M. / Darrin, M.A.G. / Osiander, R. | Tema Archiv | 2008
    Schlagwörter: Ionenstrahlätzen , reaktives Ionenätzen , DRIE (deep reactive ion etching)

    Flow and Heat Transfer in a Cross-Linked Silicon Microchannel Heat Sink

    Muwanga, R. / Hassan, I. | AIAA | 2008
    Schlagwörter: Reactive Ion Etching

    Hydrogen-Helium Leak Detection at Elevated Pressures and Low Temperatures

    Mak, Caesar / Gleason, Lauren / Smith, Owen et al. | AIAA | 2009
    Schlagwörter: Reactive Ion Etching

    High aspect-ratio dry-release poly-silicon MEMS technology for inertial-grade microgyroscopes

    Ayazi, F. / Najafi, K. | Tema Archiv | 2000
    Schlagwörter: Ionenstrahlätzen , reaktives Ionenätzen , DRIE (deep reactive ion etching)

    Development of a single-mass five-axis MEMS motion sensor

    Boysel, R.M. / Ross, L.J. | Tema Archiv | 2009
    Schlagwörter: reaktives Ionenätzen

    Design and prototyping of a micropropulsion system for microsatellites attitude control and orbit correction

    Vaccari, L. / Altissimo, M. / Di Fabrizio, E. et al. | Tema Archiv | 2002
    Schlagwörter: reaktives Ionenätzen

    Design of a MEMS Resonant Wind Sensor on Airplane Wing

    Si, Chao-Wei / Han, Guo-Wei / Ning, Jin et al. | Tema Archiv | 2013
    Schlagwörter: reaktives Ionenätzen

    A silicon micromachined gyroscope and accelerometer for vehicle stability control system

    Nagao, M. / Watanabe, H. / Nakatani, E. et al. | Tema Archiv | 2004
    Schlagwörter: reaktives Ionenätzen

    Fabrication of microshutter arrays for space application

    Li, M.J. / Aslam, I.S. / Ewin, A. et al. | Tema Archiv | 2001
    Schlagwörter: Ionenstrahlätzen , reaktives Ionenätzen

    MEMS technology at NASA's Jet Propulsion Laboratory

    George, T. / Bae, Y. / Chakraborty, I. et al. | Tema Archiv | 2000
    Schlagwörter: reaktives Ionenätzen