Die Miniaturisierung in der Elektronik hat längst in viele Disziplinen Eingang gefunden - in die Optik ebenso wie in die Mechanik, die Fluidtechnik, die Chemie oder auch die Analytik und die Medizin. Die Abgrenzung der Definitionen ist nicht ganz präzise. Gebräuchlich ist der Begriff Mikrotechnik als Dachbegriff für Mikromechanik, Mikrooptik oder entsprechende Produkte wie Mikrosensoren oder Mikroaktoren sowie das ganze dazugehörende technologische Umfeld. Produkte der Mikrotechnik sind heute Bestandteile unseres täglichen Lebens. Für die Herstellung von Mikrostrukturprodukten ist mittlerweile ein ganzer Strauß verschiedener Fertigungstechniken entwickelt worden, die sich gegenseitig ergänzen und unterstützen. Durch naßchemisches, anisotropes Ätzen lassen sich z.B. in ein einkristallines Silizium präzise V-Gräben einbringen oder Membran- und Zungenstrukturen erzeugen und damit Faser-Chip-Koppelelemente, Druck- oder Beschleunigungssensoren herstellen. Ein anisotroper naßchemischer Ätzprozeß ist auch bei speziellen Gläsern nach einer photochemischen Umwandlung möglich. Durch Trockenätzprozesse mit Niederdruckplasmen oder Ionenstrahlen, bei denen vor allem der Technologievorrat der Mikroelektronikfertigung und natürlich auch der Werkstoff Silizium genutzt werden, kann man eine fast beliebige Formvielfalt von Mikrostrukturen realisieren. Die in Deutschland entwickelte LIGA-Technik stellt eine Folge von Fertigungsschritten dar, bei der präzise, dreidimensionale Mikrostrukturen durch eine Kombination von Lithographie, Galvanoformung und Abformurg hergestellt werden. Große Bedeutung wird der Mikrotechnik in der Weiterentwicklung der Automobiltechnik beigemessen. Auch die nichtelektronischen Bereiche der Informations- und Kommunikationstechnik bieten Raum für Mikrostrukturprodukte. Spektakuläre Möglichkeiten scheint die Medizintechnik zu bieten. In den Chemie- und Pharmaziebereich wird die Mikrotechnik über das Lab-on-the-Chip in breiter Front vordringen.
Innovation Mikrotechnik - die große Bedeutung der kleinen Strukturen
1997
20 Seiten, 10 Bilder, 28 Quellen
Aufsatz (Konferenz)
Deutsch
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