A gas flow control system for use in chemical beam epitaxial growth systems is described. This system employs a unique dual-valve control technology. Flux control and stability of better than 0.1% and switching speeds of the order of 1 s are demonstrated. An integrated system based on this type of control system is introduced


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    Titel :

    Progress in the design of CBE systems


    Weitere Titelangaben:

    Weiterentwicklungen im Entwurf von Systemen für die Chemiestrahlepitaxie (CBE)


    Beteiligte:
    Mifsud, V.J. (Autor:in) / Sullivan, P.W. (Autor:in) / Williams, D. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    1990


    Format / Umfang :

    10 Seiten, 16 Quellen




    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch





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