Es wird ein Sensorchip-Mikrosystem zur hochauflösenden Messung von Magnetfeldern beschrieben. Das Meßelement ist zum Messen schwacher Magnetfelder bis in die Größenordnung des Erdmagnetfeldes vorgesehen. Der Arbeitstemperaturbereich liegt zwischen -40 und +125 Grad C. Hauptanwendung ist der elektronische Kompaß für Kraftfahrzeuge. Der Sensorchip besteht aus einem System magnetoresistiver Sensorschichten und zusätzlichen Elementen zur Sicherung der Linearität, der Temperaturunabhängigkeit und der Nullpunktstabilität (Driftunterdrückung). Die Auflösungsgrenze liegt für magnetische Gleich- und Wechselfelder unterhalb von 0.5 nT.
Mikrosystem zur Messung eines Magnetfelds mit hoher Auflösung
Microsystem for high resolution measurement of magnetic fields
Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik ; 9 , 6 ; 26-28
1995
3 Seiten, 5 Bilder, 7 Quellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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