Vorzugsweise zur verzögerungsarmen Steuerung eines aufblasbaren Luftpolsters zur Sicherung des Kraftfahrzeuglenkers bei einem Unfall wurde das MAXIMA-Projekt realisiert. Es besteht aus einem in IC-Bauweise ausgeführten 3-achsigen Beschleunigungsmesser. Anhand einer Projektskizze werden grundsätzliche Angaben zu Entwurfseinzelheiten des Sensors und der elektronischen Schaltung gegeben, sowie zur Technologie, Prototyp-Realisierung und Anwendungserprobung. Die Basistechnologie war auf den vorgegebenen (Fa.Bosch) BiCMOS-Prozeß ausgerichtet. Der Sensor bestand im wesentlichen aus mikromaschinell bearbeitetem Polysilicium und Siliciumoxid als Abdeckungsschicht. Die sensorische Wirkung beruht auf einem Differentialkondensator-Konzept. Die Detektion der Beschleunigung geschieht durch 3 voneinander unabhängige mechanische Strukturen. Mikrotechnologische Hinweise werden gegeben. Praxiserprobungen dieses Beschleunigungssensors stehen noch aus.
Accelerometers for automotive applications
Beschleunigungsaufnehmer für KFZ-Anwendungen
1995
4 Seiten, 2 Bilder
Aufsatz (Konferenz)
Englisch
Accelerometers for Automotive Applications
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