Es wird über die ersten Versuche zum Aufwachsen von Galliumarsenid auf Wafern nahe der Raumfähre Discovery im Februar 1994 sowie über die weiteren geplanten Versuche zum Aufbringen von Galliumarsenid, Indiumphosphid und anderen Halbleitermaterialien berichtet. Beim ersten Versuch wurde eine Vorrichtung benutzt, die als 'Wake Shield Facility (WSF)' bezeichnet wird. Diese besteht aus einer Scheibe aus rostfreiem Stahl mit einem Durchmesser von etwa 4 m, die 7 Wafer enthält. Für die Zufuhr der benötigten Chemikalien wie Triethylgallium wurde ein spezielles Verteilersystem konstruiert. Wegen eines Fehlers am Navigationssystem konnte die Versuchseinrichtung nicht 68 km entfernt von der Fähre abgesetzt werden. Sie blieb nur 40 Stunden am Roboterarm, wo ein Vakuum herrscht, das auch in Vakuumkammern erreicht wird. Aus diesem Versuch ist nicht zu erkennen, ob die im Weltraum hergestellten Halbleiter eine bessere Qualität als herkömmlich hergestellte Halbleiter haben. Für zukünftige Weltraumflüge ist geplant, eine größere Anzahl Substrate zu verwenden, eine Energieversorgung der Versuchseinrichtung durch Sonnenzellen einzusetzen und die Einrichtung für 30 bis 90 Tage alleine im Raum kreisen zu lassen. Als Kosten für die Versuchseinrichtung werden 14 Millionen Dollar genannt.
Halbleiterherstellung von einer Raumfähre aus. Vorstufe für eine Halbleiterfabrik im erdnahen Weltraum? / Experimente mit Galliumarsenid
Semiconductor production outside a space vehicle. A first step towards an orbital semiconductor plant ? Experiments with gallium arsenide
Blick durch die Wirtschaft ; 37 , 138 20.07.94 ; 8
1994
1 Seite
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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