Das bekannte Prinzip miniaturisierter thermischer Strömungssensoren wird durch das vorgestellte Sensordesign erweitert. Dies wird mit der Verwendung von vier Membran-Thermistoren, die eine Wheatstone-Brücke bilden, realisiert. Versorgt man die Brücke mit eingeprägtem Strom, so fungieren die Thermistoren, dank der Eigenerwärmung, gleichzeitig als Wärmequellen und Temperatursensoren. Das stationäre Verhalten wurde experimentell untersucht und mit Ergebnissen der FEM-Simulationen verglichen, wobei sich eine gute Übereinstimmung zeigt. Um das transiente Verhalten zu untersuchen, wurden Experimente mit einem Stoßwellengenerator durchgeführt. Insbesondere wurde mittels variabler Drosselung die Form der Transienten für verschieden große Strömungssprünge genau gemessen. Es zeigt sich, dass mit dem neuen Umsetzungsmodus hohe Empfindlichkeit, kurze Anstiegszeiten sowie sehr niedrige Leistungsaufnahme erzielt werden kann.
Stationäre und transiente Analyse miniaturisierter Strömungssensoren mit sehr niedriger Leistungsaufnahme
2008
4 Seiten, 7 Bilder, 5 Quellen
Aufsatz (Konferenz)
Deutsch
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