Als MEMS lassen sich äußerst kleine mikromechanische Sensoren aufbauen, die auf dem Corioliseffekt beruhen und in Form von System-on-Chip nur 7x7x3 mm groß sind. Die neuen Drehratensensoren (Gyroskop) vom Typ ADXRS (Analog Devices) beruhen auf diesem Prinzip und weisen eine schwingende Masse auf, die in einem Rahmen aufgehängt ist. Der Rahmen hängt seinerseits so, daß er sich nur im rechten Winkel zur Bewegungsrichtung der schwingenden Masse bewegen kann. Dreht sich die IC, wird der Rahmen seitlich ausgelenkt. Die Auslenkung des Rahmen wird über außen am Rahmen angebrachte Finger ermittelt und ist ein Maß für die Drehgeschwindigkeit der IC. Die Masse schwingt mit 14 kHz. Ein möglicher Einsatz ist die Fahrdynamikregelung im Auto, wobei beim Auftreten eines Überschlags ein Airbag ausgelöst wird.


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    Titel :

    Let's twist again. MEMS-Sensor erfasst Drehrate


    Weitere Titelangaben:

    MEMS sensor as gyroscope


    Erschienen in:

    Elektronik Journal ; 38 , 5/6 ; 20-24


    Erscheinungsdatum :

    2003


    Format / Umfang :

    4 Seiten, 4 Bilder



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch




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